Новейший оптический сканер для производства микросхем

Завод «Микрон» из Зеленограда, принадлежащий группе компаний «Элемент», одержал победу в конкурсе Министерства промышленности и торговли России на проектирование уникального отечественного оборудования «Лучник» для измерения рассовмещения топологических слоев при изготовлении полупроводниковых микросхем. Сумма контракта составила 1,56 миллиардов рублей.

Установка «Лучник» станет важнейшим элементом технологического цикла изготовления микрочипов, обеспечивая высочайшую точность совмещения слоев на кремниевых подложках диаметром 150 и 200 миллиметров. Ее задача — обеспечить контроль над технологическими процессами с точностью до 130 нанометров и поддерживать производительность не менее 75 пластин в час. Система оснащается инновационными интерферометрическими датчиками и алгоритмами машинного зрения для оперативного выявления отклонений и автоматической корректировки производственного процесса.

Проект представляет собой крайне сложную инженерную задачу, объединяя достижения прецизионной механики, фундаментальных исследований в области оптики и разработки специализированного программного обеспечения. Рабочий инструмент станка должен перемещаться с минимальной погрешностью, измеряемой на уровне нанометров, а применяемые линзы требуют высоких показателей светосилы. Несмотря на значительные трудности, проект должен быть завершён до июля 2029 года.

При этом «Микрон» становится не только исполнителем работ, но и конечным потребителем оборудования, что позволяет специалистам завода быстро внедрять промежуточные образцы на действующую производственную линию с использованием 200-миллиметровых пластин. Такой подход увеличивает вероятность успешного завершения проекта и выпуска конкурентоспособного изделия мирового уровня.

Вашу заявку Вы можете оставить на нашем сайте, отправить на почту info@e-kip.ru,

в MAX по номеру телефона +8 (900) 303 50 05,

а также по телефону:

+7 (495) 120-80-22

+7 (473) 300 35 85

С уважением, ООО «Компания «Альтоникс»